亞智光阻涂布設(shè)備助大尺寸面板制造

    2012年2月15日，高科技產(chǎn)業(yè)整合解決方案供應(yīng)商亞智科技(Manz Asia Ltd.)推出了全新的光阻涂布設(shè)備 Manz Slit coater，該設(shè)備結(jié)合了德國Manz AG多年的自動化傳輸及多軸控制驅(qū)動技術(shù)，采用氣懸浮平臺控制技術(shù)進(jìn)行玻璃基板的傳輸與光阻涂布，可完全免除基板靜電及刮傷的問題。另外，Manz Slit Coater 以固定龍門進(jìn)行光阻涂布，與傳統(tǒng)Slit Coater 相比，精確性與穩(wěn)定性更高。亞智科技總經(jīng)理陳國平表示：“玻璃基板大尺寸化是未來的發(fā)展方向，期望在未來的‘大’競爭市場中立足，不能只依賴因?yàn)閿U(kuò)大基板尺寸帶來的成本降低所生產(chǎn)的競爭力，而是必須持續(xù)進(jìn)行相關(guān)技術(shù)的革新�！�

    全新的Manz Slit Coater應(yīng)用于平面顯示器Array段黃光生產(chǎn)制程的光阻涂布，它的開發(fā)導(dǎo)入了源自德國母公司Manz AG的核心技術(shù)，在自動化傳輸及多軸同步控制驅(qū)動技術(shù)方面運(yùn)用了氣懸浮平臺控制技術(shù)，這項(xiàng)技術(shù)原來應(yīng)用于薄膜太陽能電池生產(chǎn)的激光劃線設(shè)備。而多軸同步控制技術(shù)則來自于Manz SpeedPicker 六軸機(jī)械手臂控制系統(tǒng)。

    “亞智科技專注于平面顯示器及觸控面板濕制程設(shè)備的研發(fā)與制造，擁有超過二十年的豐富經(jīng)驗(yàn)。來自Manz光伏領(lǐng)域先進(jìn)技術(shù)的共享，使Manz Slit Coater在大尺寸面板制造的強(qiáng)勁發(fā)展中更具競爭力。”陳國平解釋道。Manz AG首席執(zhí)行官Dieter Manz先生強(qiáng)調(diào)：“這也體現(xiàn)了Manz通過多樣化實(shí)現(xiàn)協(xié)同的戰(zhàn)略已經(jīng)卓見成效�！�

    傳統(tǒng)的Slit Coater是采用花崗巖平臺吸附基板，搭配單支或雙支機(jī)械手臂進(jìn)行放板和取板，利用移動式的龍門進(jìn)行光阻涂布，不僅在傳輸過程中容易造成基板刮傷以及產(chǎn)生靜電，在生產(chǎn)大尺寸面板時產(chǎn)出效率慢，而且移動式龍門的驅(qū)動力造成的振動，也會影響光阻涂布的均勻性及品質(zhì)。亞智科技全新推出的Manz Slit Coater，采用氣懸浮平臺控制技術(shù)，上下游并可直接搭載輸送機(jī)，無需機(jī)械手臂傳送，無基板刮傷和靜電問題。固定式龍門的涂布設(shè)計(jì)，強(qiáng)化了結(jié)構(gòu)強(qiáng)度及動力，還可配合大尺寸面板的需求設(shè)計(jì)，大幅地縮短節(jié)拍時間，提升生產(chǎn)效率。總經(jīng)理陳國平還表示：“我們的創(chuàng)新技術(shù)能夠縮短總工程時間、降低成本，可大大提高企業(yè)的投資回報率，Manz Slit Coater具有極富吸引力的價格，將令制造商如虎添翼�！�

    從2009年開始，亞智科技投入平面顯示器面板生產(chǎn)Array段的黃光制程設(shè)備開發(fā)，積極跨入干制程設(shè)備制造領(lǐng)域，進(jìn)行產(chǎn)品多樣化布局。目前亞智科技正在進(jìn)行針對高階LTPS面板生產(chǎn)制程的光阻涂布的開發(fā)，已進(jìn)行至實(shí)驗(yàn)機(jī)階段。全新雙龍門的設(shè)計(jì)，可快速進(jìn)行不同光阻材質(zhì)的涂布切換，減少待機(jī)。另外，搭配超硬合金材質(zhì)的刀嘴設(shè)計(jì)，更可大幅降低因涂布異常造成的涂刀損壞，并減少維護(hù)時間。另外，亞智科技位于蘇州的新工廠即將于2012年5月正式投入生產(chǎn)，屆時將得以更快的速度響應(yīng)用戶的需求，進(jìn)一步擴(kuò)大生產(chǎn)產(chǎn)能。

    Manz G2 Slit Coater應(yīng)用于觸控面板黃光生產(chǎn)制程的光阻涂布。

    固定式龍門的涂布系統(tǒng)與氣浮輸送方式，可有效控制光阻涂布的均勻性及品質(zhì)，避免傳統(tǒng)輸送方式造成的基板損傷。

    亮點(diǎn)：

    精密氣懸浮式光阻涂布設(shè)備，符合大尺寸面板制造的產(chǎn)能需求趨勢

    以氣懸浮平臺控制技術(shù)進(jìn)行涂布和玻璃基板傳送，無靜電及刮傷等問題

    該產(chǎn)品運(yùn)用了Manz在光伏領(lǐng)域先進(jìn)的自動化與控制技術(shù)

    亞智科技股份有限公司簡介

    亞智科技股份有限公司 (Manz Asia Ltd.)于1986年成立于臺灣桃園縣中壢市，擁有多項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)，專注于平面顯示器、觸控面板及印刷電路板濕制程設(shè)備研發(fā)與制造，擁有超過二十年的豐富經(jīng)驗(yàn)。2008年德國上市公司 Manz AG正式收購亞智科技，亞智可望進(jìn)一步與 Manz AG 集團(tuán)聯(lián)手取得亞洲市場以外的全球訂單，大幅提升競爭力。

    秉承德國母公司 Manz AG 集團(tuán)在全球自動化設(shè)備、影像處理設(shè)備以及控制工程系統(tǒng)方面的專長，亞智科技將積極地透過Manz AG 集團(tuán)全球化的銷售平臺，在集團(tuán)內(nèi)扮演濕制程研發(fā)中心的關(guān)鍵角色，致力于成本合理化、服務(wù)在地化、資源分享全球化；在未來，亞智科技也將透過技術(shù)創(chuàng)新，發(fā)展全新多功能整合的新產(chǎn)品，以提供客戶更好的服務(wù)。

    Manz AG 簡介

    Manz AG 總公司位于德國羅伊特林根城（ISIN:DE000A0JQ5U3），是一家全球領(lǐng)先的高科技設(shè)備制造商。1987 年成立的Manz 公司，已經(jīng)從自動化專家，發(fā)展成為太陽能光電產(chǎn)業(yè)（多晶硅太陽能電池和薄膜太陽能電池模組）以及平面顯示器產(chǎn)業(yè)整合式生產(chǎn)系統(tǒng)解決方案供貨商；其全新的業(yè)務(wù)領(lǐng)域是開發(fā)和制造車用鋰電池生產(chǎn)系統(tǒng)解決方案。

    Manz 集團(tuán)2006 年在德國公開上市，由創(chuàng)立者Dieter Manz 先生擔(dān)任首席執(zhí)行官，Manz 集團(tuán)在德國、中國大陸、臺灣、斯洛伐克及匈牙利皆設(shè)有自己的生產(chǎn)據(jù)點(diǎn)。至2012 初，Manz 集團(tuán)在全球擁有約2000 名員工，其中在亞洲約有950 名。在該公司新宣言“激情成就高效能”的推動下，Manz 承諾未來會為各種重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)的客戶，提供更高效能的生產(chǎn)系統(tǒng)解決方案。