氧化物TFT新候補多晶IGO備受關(guān)注

    索尼發(fā)布采用多晶氧化物TFT的有機EL面板

    在“AMD1”與“OLED3”的合并會議“AMOLED”上，索尼發(fā)布了采用多晶氧化物TFT的有源矩陣驅(qū)動有機EL面板（論文序號AMD1/OLED3-1）。其溝道層采用多晶IGO膜取代了原來的非晶IGZO膜。遷移率高達(dá)22～24cm2/Vs，遇到DHF溶液也基本不會被蝕刻，因此適合反向通道蝕刻型TFT。

    SRU（short range uniformity）方面，16個TEG檢測結(jié)果表明，Vth的平均值為0.23V，σ＝0.02V，偏差很小。LRU（long range uniformity）方面，在300mm×350mm的玻璃底板上，遷移率平均值為23.8cm2/Vs，σ＝0.86cm2/Vs，整個基板的偏差也很小�？煽啃苑矫�，在Vg＝Vd＝15V的PBTS（positive bias temperature stress）試驗中，在10000秒內(nèi)有0.25V左右的Vth漂移。

    索尼采用這種多晶IGO TFT試制出了有源矩陣驅(qū)動有機EL面板。對角9.9英寸，像素為960×540（qHD），像素回路為2T（雙晶體管）構(gòu)造。估計跟該公司已投產(chǎn)的11英寸有機EL電視“XEL-1”一樣，通過2T-2C（2晶體管-2電容器）回路補償了Vth和遷移率。從照片上看，均一性良好。

    由于IGO不能制造多結(jié)晶的靶材，所以必須在非晶狀態(tài)下成膜后通過基于熱退火的固相生長實現(xiàn)多晶化。長年從事多晶硅TFT業(yè)務(wù)的人員，可能會擔(dān)心“多晶化會不會需要巨大的熱量”，但由于“可以在非晶硅TFT的最高工藝溫度以下進行短時間處理”，所以對產(chǎn)品的批量生產(chǎn)似乎沒有什么影響。從均一性數(shù)據(jù)來看，結(jié)晶成長所產(chǎn)生的顆粒也基本沒有影響，因此完全有可能成為反向通道蝕刻型氧化物TFT的真正候補。

    電致變色方式的64灰階全彩電子紙

    在電子紙會議上，理光發(fā)布了實現(xiàn)64灰階全彩顯示的電致變色顯示器（論文序號EP1-1）。元件構(gòu)造為黃色、藍(lán)綠色、深紅色3原色電致變色層縱向?qū)拥�成三層。背板采用的是低溫多晶硅（LPTS）TFT。

    該產(chǎn)品非常受歡迎，記者招待會上人山人海，甚至無法靠近觀看實物。面板尺寸為對角3.5英寸，像素為240×320。寫入也比較順暢，幾秒左右擦寫一次畫面。在目前發(fā)布的彩色電子紙中實現(xiàn)了非常自然的顏色。

    圖3：理光的全彩電致變色顯示器（論文序號EP1-1）對比度稍微差點，但灰階表現(xiàn)順暢，作為反射型，實現(xiàn)了非常良好的色彩。