日本大阪大學研究生院理學研究系化學專業(yè)副教授竹谷純一的研究小組采用涂布法制成了載流子遷移率高達5cm2/Vs的有機薄膜晶體管(TFT)。該大學在“nano tech 2010(國際納米科技綜合展)”(2月17日~19日)的日本新能源產(chǎn)業(yè)技術綜合開發(fā)機構(NEDO)展區(qū)內(nèi),展示了這一成果。
大阪大學發(fā)現(xiàn)在硅底板上設置具有長方形截面的結構物時,滴落的有機液體會以結構物的截面為基點(生長核),朝著遠離截面的方向均勻固化的現(xiàn)象。大阪大學表示,利用這一現(xiàn)象,“能夠?qū)崿F(xiàn)使用以往的生長核位置隨機確定的涂布法難以實現(xiàn)的高品質(zhì)有機單晶體”。
大阪采用這種方法,制成了柵極長為100μm的有機TFT。這種TFT具有p型傳導特性,載流子遷移率為5cm2/Vs,開關比為105。只采用涂布法形成了通道,電極等則采用普通的氣相法形成。通道材料中使用了將BTBT(Benzothieno Benzothiophene)溶入庚烷(Heptane)的有機液體。
硅底板上的結構物采用了硅切片,不過還可采用像曝光抗蝕劑一樣與TFT制造工序具有較高親和性的材料。大阪大學表示,今后將面向顯示器驅(qū)動等用途推進TFT的陣列化,同時“驗證可在柔性底板上實現(xiàn)何種性能”。