AKT：液晶面板的換代競爭不會結(jié)束

    以“換代競爭的終結(jié)，尚無可能性”為題，CVD裝置廠商美國業(yè)凱 (AKT，美國應(yīng)用材料公司的全資子公司) 的In Doo Kang(顯示器業(yè)務(wù)部門總經(jīng)理兼副總裁)在“SID 2007”上發(fā)表了主題演講。其中，關(guān)于底板趨于大型化的液晶顯示器產(chǎn)業(yè)，Kang介紹了其發(fā)展背景以及作為制造裝置廠商的應(yīng)對措施。

　　主題演講中第二個亮相的In Doo Kang預(yù)測：“繼平板顯示器（FPD）市場的擴大、液晶電視的大型化之后，大型數(shù)字公告牌將繼續(xù)推動液晶生產(chǎn)線的換代”（圖1）。

　　其背景是：液晶面板市場價格迅速下滑，直接構(gòu)成了生產(chǎn)成本削減的巨大壓力。液晶相關(guān)廠商通過ODF（液晶滴下注入）技術(shù)的導(dǎo)入、光刻工序的技術(shù)革新、成品率的提高等各種技術(shù)開發(fā)，來推動生產(chǎn)成本的削減。不過，Kang再次強調(diào)，在提高日趨大型化的液晶面板的生產(chǎn)效率方面，“基于玻璃底板大尺寸化的多面裁切效果最為明顯”（圖2）。

圖2：底板大型化的經(jīng)濟性（AKT的演講資料）

　　Kang以該公司以一直跟隨底板大型化需求而發(fā)展的CVD裝置為例，說明了現(xiàn)在裝置體積之大。比如，第8.5代支持裝置的中心腔（Center Chamber）足以容納該公司早期推出的第2代裝置（圖3）。

圖3：以AKT的CVD裝置為例，介紹了底板大型化的發(fā)展歷程以及目前制造裝置的巨大尺寸（AKT的演講資料）

雖然成本是問題，但可以支持第9代和第10代

　　Kang指出日趨大型化的制造裝置存在以下問題：（1）消耗大量的不銹鋼和鋁材；（2）供貨1臺裝置，需要租14輛卡車甚至直升飛機，耗費高額成本。而另一方面，Kang表示，對于第8代以后底板的進一步大型化，該公司正就應(yīng)對的可能性進行討論。

　　Kang表示，支持底板大型化的工藝擴張性、底板處理以及裝置制程等方面“均無重大障礙”。同時，對側(cè)重制造成本的設(shè)計、制造裝置的安全性（比如，排出真空時，通過消耗大量氮氣來防止窒息的措施等）以及組裝物流也進行了考察，并明確表示可以支持第9代和第10代。

　　另外，Kang還表示“作為超越底板大型化技術(shù)革新，還將繼續(xù)進行各種嘗試，比如無真空、無光刻等工序的革新、以Color Filter on Array技術(shù)為首的元件結(jié)構(gòu)的變革、通過采用新絕緣材料及金屬布線材料等新部件材料來降低成本等”。最后，Kang提出“希望全行業(yè)一起研究，在玻璃底板尺寸、可把工廠內(nèi)的生產(chǎn)庫存降至最少的物流以及材料等方面制定相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)”。