斯坦利電氣開發(fā)出超小型投影機用鏡片組件

    斯坦利電氣利用全新結構的致動器開發(fā)出了可供超小型投影機使用的鏡片組件，并在“MEMS2007”國際會議進行了技術發(fā)表。超小型投影機的目標用途是手機，利用微鏡片掃描彩色激光，將圖像投影到了墻壁等表面上。

    該公司此次利用壓電組件開發(fā)出了在垂直和水平雙軸方向掃描激光的微鏡片致動器。通過采用新開發(fā)的特殊結構，即使可得到較大的驅動力，也能產(chǎn)生變異較小的大壓電驅動位移。

    一般來講，基于單芯片的雙軸掃描，與垂直方向相比，水平方向的驅動頻率要大得多，因此很難利用共振頻率驅動雙軸。因此該公司決定利用非共振頻率進行垂直方向的驅動。采用非共振驅動時，需要較大的驅動力，因此該公司采用了基于PZT的壓電驅動方式。不過，這種驅動方式存在無法產(chǎn)生大位移的缺點，此次通過采用新結構決定了這一問題。

    所采用的新結構就是將致動器設計成蛇行形狀。這種結構有多個驅動部分，各驅動部分的位移積累起來以后，整體上就能得到大位移。

    為了實現(xiàn)壓電驅動，需要有能夠均勻形成結晶的PZT膜工藝，而該公司早已開發(fā)出了這項技術，名為“ADRIP（arc discharged reactive ion plating）”。在500℃的非超高溫度條件下能夠以3μm/小時的速度進行成膜。