Azzurro(德國(guó)半導(dǎo)體制造商)使用公司的硅基氮化鎵LED模板晶片,在波長(zhǎng)變化的生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室樹(shù)立了里程碑,現(xiàn)在Air Water(日本安曇野市的愛(ài)沃特株式會(huì)社)正使用愛(ài)思強(qiáng)公司全新的有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器制造碳化硅基氮化鎵架構(gòu)。
從性能的角度來(lái)看,使用釤基氮化鎵或碳化硅基氮化鎵(GaN-on-SiC)技術(shù)可以繼續(xù)推進(jìn)產(chǎn)業(yè)的前進(jìn),我們也有理由相信這樣可以繼續(xù)最大限度地減少LED的成本和更廣泛的固態(tài)照明(SSL)。Azzurro正在尋求硅基氮化鎵晶半導(dǎo)體圓模板,并宣布其生產(chǎn)方案已在研發(fā)實(shí)驗(yàn)室達(dá)到3納米波長(zhǎng)均勻度和1納米的均勻度,與此同時(shí),Air Water在硅晶片上加上碳化硅層,以此來(lái)減少缺陷,并使LED輸出更多的光。
硅的吸引力是可以保持晶片的低成本,以及后端LED制造工藝的自動(dòng)化,并按集成電路(IC)工廠線使用。這也就是說(shuō),LED顯示器可以減少組件元件成本以及SSL系統(tǒng)的材料清單。
硅基氮化鎵模板
我們前面已經(jīng)介紹過(guò)德國(guó)德累斯頓的發(fā)展策略:制造商可以通過(guò)使用自己的知識(shí)產(chǎn)權(quán)增長(zhǎng)此模板的外延結(jié)構(gòu)。想必Azzurro的制造商會(huì)處理LED硅處理方面的困難,包括晶片的處理和可變晶片的厚度問(wèn)題。
Azzurro在近日舉行的國(guó)際會(huì)議上宣布了其最新的里程碑式的氮化物半導(dǎo)體2013(ICNS-10)!拔覀兒芨吲d,也很自豪能夠做出1.0納米的成就,”Azzurro的聯(lián)合創(chuàng)始人Alexander Loesing這樣說(shuō)道:“有了這些結(jié)果,我們證明了我們的硅基氮化鎵技術(shù)可以使LED行業(yè)接近1-bin LED晶片的目標(biāo)!
該實(shí)驗(yàn)室開(kāi)發(fā)的1納米均勻性就可以產(chǎn)生1-bin的LED顏色,但Azzurro并沒(méi)明確指出這一成就,因?yàn)樗赡軙?huì)被商業(yè)化。即使是3納米的均勻性成果在生產(chǎn)環(huán)境中也會(huì)缺乏一定的可信度,直到這樣的LED出現(xiàn)在市面上。Azzurro表明:此成就使用了150毫米(6英寸)晶片,也可以在1.3%以內(nèi)均勻交付正向電壓。
碳化硅基氮化鎵架構(gòu)
根據(jù)Aixtron的公告顯示:總部設(shè)在日本安曇野市的工業(yè)氣體生產(chǎn)商Air Water集團(tuán),正在使用一種新方法來(lái)將碳化硅層加入到硅晶片,這是一種包括有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積(MOCVD)反應(yīng)器的LED設(shè)備,用來(lái)擴(kuò)展化合物半導(dǎo)體外延層。愛(ài)思強(qiáng)公司說(shuō),它安裝的AIX G5 HT行星式反應(yīng)器可以在集成6*8的晶片。
科瑞已經(jīng)證明此架構(gòu)可以很好的發(fā)揮LED的作用,能始終如一地散發(fā)完美的光效。碳化硅提供了更好的結(jié)晶性,這樣就可以減少缺陷,提供更多光輸出之間的匹配。但是,碳化硅晶片的成本顯然高于藍(lán)寶石晶片的成本,雖然科瑞在使用該技術(shù)有很明顯的價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力。
想必Air Water的此架構(gòu)也會(huì)盡快完成,與此同時(shí),碳化硅層將提供一個(gè)如同氮化鎵層的更好晶片,借以形成LED結(jié)構(gòu)。
當(dāng)然,同質(zhì)襯底和外延層之間一定存在著某種路徑,比如Soraa正在追求的東西,但顯然,氮化鎵晶片比碳化硅晶片更昂貴。