智能手機與平板裝置(Tablet Device)的蓬勃發(fā)展,讓低溫多晶硅(LTPS)制程技術(shù)與觸控面板炙手可熱,從而推升相關(guān)制造設(shè)備需求,預(yù)估2011年LTPS和觸控的設(shè)備商可服務(wù)市場(SAM)規(guī)模將達(dá)4億美元,較2010年大幅增長兩倍,為2011年設(shè)備供應(yīng)商的發(fā)展注入一股強勁的成長動能。
應(yīng)用材料(Applied Materials)集團(tuán)副總裁暨顯示器事業(yè)群總經(jīng)理Tom Edman表示,移動裝置將是繼筆記型電腦、桌上型顯示器與大尺寸平面電視后,第四波顯示器市場成長的主要驅(qū)動力,并將帶動龐大的資本設(shè)備需求,其中,可讓有機發(fā)光二極體(OLED)與液晶面板實現(xiàn)更高效能和更高解析度的LTPS背板技術(shù),以及可攜式裝置正大量導(dǎo)入的多點觸控面板,由于需要更多制程設(shè)備支出,將是該公司今年搶攻的重點,預(yù)估2011年移動顯示相關(guān)的設(shè)備營收比重將占該公司整體顯示器事業(yè)營收的三成以上。
相較于現(xiàn)今非晶硅(a-Si)技術(shù),LTPS背板由于具有較快的反應(yīng)速度,可達(dá)到更高的解析度,是現(xiàn)今移動顯示器追求更高顯示效能不可或缺的重要技術(shù),但LTPS的制程遠(yuǎn)較非晶硅復(fù)雜許多,所需的制程設(shè)備數(shù)量也比非晶硅增加兩倍;至于多點觸控面板更是移動裝置顯示器的發(fā)展主流,而觸控面板至少四至五層的薄膜沉積步驟,亦讓物理氣相沉積(PVD)與化學(xué)氣相沉積(CVD)等設(shè)備重要性顯著提升。
Edman指出,觸控面板市場如今已是百家爭鳴,尤其是電容觸控技術(shù),由于可實現(xiàn)多點觸控功能,已成兵家必爭之地,不論是傳統(tǒng)彩色濾光片或面板制造商,或僅鎖定觸控面板發(fā)展的新進(jìn)業(yè)者,都已大舉擴增相關(guān)產(chǎn)能。預(yù)估未來幾年,觸控面板市場將持續(xù)成長,并激勵制設(shè)備需求不斷攀升。
事實上,為滿足觸控面板業(yè)者提升產(chǎn)量的需求,應(yīng)用材料日前也推出一款具平行處理能力的PVD制造設(shè)備AKT-Aristo Twin,可于單一系統(tǒng)上同時以兩條獨立軌道進(jìn)行沉積作業(yè),以提升整體生產(chǎn)效率并降低制造成本。目前,已獲得中國大陸和臺灣的主要觸控面板制造商采用。